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VPO-300快速退火爐

描述：VPO-300快速退火爐
快速退火爐（RTP/RTA）是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

更新時間：2020-10-31
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詳情介紹
品牌其他品牌價格區間面議
產地類別進口應用領域化工,能源,電子,印刷包裝,電氣

VPO-300快速退火爐

快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

儀器特點：
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；
  -  可在真空、甚至于高真空環境使用；
  -  加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；
  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；

儀器特點：
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；
  -  可在真空、甚至于高真空環境使用；
  -  加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；
  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；

 

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